真空開(kāi)關(guān)真空度測試試驗方法及注意事項
真空開(kāi)關(guān)真空度測試試驗
真空度降低的原因
(1)滅弧室內部材料含氣釋放
(2)滅弧室漏氣:滅弧室密封質(zhì)量、機械沖擊
真空度檢測方法
(1)火花計法一準確度低,人為、環(huán)境影響因素大;
(2)觀(guān)察法一準確度低,人為、環(huán)境影響因素大;
(3)交流耐壓法一無(wú)法定量,不能作出預判斷;
(4)真空度測試儀法;
(5)真空度在線(xiàn)監測:電光變換法、耦合電容法、壓力傳感法。
真空度測試儀基本原理
磁控放電法一高壓脈沖和磁場(chǎng)脈沖同時(shí)作用于真空滅弧室,使之內部產(chǎn)生脈沖磁控放電現象,產(chǎn)生離子電流,測量離子電流并與已知的電流一真空度曲線(xiàn)比較,得出真空度。
試驗方法的差別:
(1)離子電流取值方法一峰值方法、積分方法;
(2)磁場(chǎng)線(xiàn)圈形式一固定式、纏繞式、對折式;
(3)內存曲線(xiàn)數量一粗分、細分。
測試精度問(wèn)題
日前測量范圍0-10-4Pa,可達到10級;
現場(chǎng)測試注意事項:
(1)滅弧室表面應擦拭干凈;
(2)磁場(chǎng)線(xiàn)圈盡量貼近滅弧室;
(3)連續重復測試同一滅弧室,數據可能不準;
(4)測試完成后,儀器應放電。
測試結果處理建議:
不能完全排除交流耐壓試驗,應結合使用;
測試結果10-4Pa數量級及以下,合格;
測試結果在10-3Pa數量級,加強監測;
測試結果10-2Pa數量級及以上,建議更換。